[20a-P4-1~10] 3.15 シリコンフォトニクス

[20a-P4-7] トンネル電界効果トランジスタを用いた低電圧駆動シリコン光変調器

〇田部井 哲夫¹、横山 新¹ (1.広大ナノデバイス研)

キーワード：シリコン光変調器、トンネル電界効果トランジスタ