[20a-P5-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[20a-P5-4] RFスパッタ法によるTa₂O₅薄膜の作製と評価

〇梅森 祐太郎¹、髙橋 崇典¹、内山 潔¹ (1.鶴岡工業高等専門学校)

キーワード：TFT、Ta2O5薄膜