[20a-P5-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[20a-P5-8] 低湿度環境下における非鉛強誘電体膜の作成

〇平出 惇¹、山口 正樹¹、増田 陽一郎² (1.芝浦工大工、2.八戸工大工)

キーワード：強誘電体、チタン酸ビスマス

非鉛強誘電体材料は，MEMS素子やエネルギーハーベスタとしての圧電応用が期待されている．結晶化膜の再現にあたり，有機金属分解溶液に大気中の微量な水蒸気が溶け込む問題がある．本研究では溶液の攪拌を低湿度環境下で行い，成膜後の膜質を大気中で攪拌した溶液で成膜したものと比較し，溶液攪拌の際に周辺環境が与える影響について調査した．X線回折の結果から大気中の水蒸気量が膜の結晶化に悪影響を与えることがわかった．