[20a-P7-1~37] 12.1 作製・構造制御

[20a-P7-2] 有機薄膜形成における入射分子温度の測定Ⅱ
-基板表面直前における入射分子温度測定-

阿部 峰大¹、〇尾崎 幸潤¹、早川 宗孝²、下山 陽史²、田中 貴章²、辻 朗²、高橋 善和³、松原 亮介¹、久保野 敦史¹ (1.静岡大・工、2.小島プレス工業(株)、3.(株)TI)

キーワード：有機薄膜、薄膜形成過程、熱適応