[20a-P7-1~37] 12.1 作製・構造制御

[20a-P7-21] 静電スプレー堆積法を用いた低分子半導体/ポリマーブレンドOFETの作製

〇小澤 巧実¹、小幡 俊輔¹、小野島 紀夫¹ (1.山梨大学)

キーワード：静電スプレー堆積法、ポリマーブレンド、有機トランジスタ

有機トランジスタは作製の容易さやコスト、柔軟性などで利点があり、それを活かした製品への展開が期待されている。我々はESD法を用いてTIPS pentacene/PSブレンド膜を成膜し、トランジスタを作製した。これまでTIPS pentacene/PMMAブレンド膜を用いたトランジスタを作製してきたが、ゲートリークや低い移動度などの課題があった。そこでPMMAからPSに変更し、ポリマー絶縁膜の効果を調べた。PSを用いたトランジスタは移動度の向上、ゲートリークの抑制を確認した。