[20a-P7-1~37] 12.1 作製・構造制御

[20a-P7-9] 赤外分光/水晶振動子マイクロバランス同時測定による蒸着重合薄膜形成過程のin-situ観察

〇野中 啓汰¹、田中 貴章²、辻 朗²、松原 亮介¹、久保野 敦史¹ (1.静岡大院工、2.小島プレス工業(株))

キーワード：蒸着重合、ポリ尿素、in-situ

蒸着重合法は二種類の二官能性モノマーを加熱蒸発させ、基板上で重合反応することで高分子薄膜を作製する方法である。使用するモノマーにより様々な高分子薄膜が成膜可能であるが、一般に薄膜の評価はex-situ測定により行われるため、薄膜の形成過程に関しては未解明な部分が多い。本研究では、水晶振動子マイクロバランス(QCM)による付着量変化と赤外分光(IR)の同時測定による蒸着重合薄膜形成過程のin-situその場観察を試みた。