[20a-P9-1~12] 16.3 シリコン系太陽電池

[20a-P9-1] 高効率Si太陽電池用ナノピラーアレイの反射防止構造検討

〇森下 真年¹、渡邉 敬司¹、河村 哲史¹、孫 偉¹、長部 太郎¹ (1.（株）日立製作所)

キーワード：太陽電池、シリコン、反射防止

高効率Si太陽電池向けに量子閉じ込めと低反射率を同時に実現可能な構造として、ナノピラーアレイと2層埋め込み膜を提案した。光学計算により電極を含まないSiO₂/SiN積層膜とナノピラーアレイ構造により反射率2.5%が得られる見込みを得た。また、提案構造を試作し、電極なしで反射率2.5%を得た。これは、逆ピラミッド＋2層反射防止構造より低い反射率（電極込みで6.1%）に相当する。