[20p-A304-1~12] 2.2 検出器開発

[20p-A304-4] SOI技術を用いた放射線ピクセルセンサー開発の最近の進展II

〇三好 敏喜¹、新井 康夫¹、西村 龍太郎² (1.KEK素核研、2.総研大)

キーワード：SOI、ピクセルセンサー

KEKのSOIPIXグループではSOI技術を用いた放射線ピクセルセンサーの開発を行っている。これは、SOI支持基板をセンサーとして、上部のSOI層を回路層とした一体型のピクセルセンサーである。センサーと回路を接続するのに金属バンプを必要とせず、小さいピクセルサイズで高いゲインのセンサーを作ることができる。近年、２重SOIウエハーを用いたピクセルセンサーを開発した結果、放鎖線耐性が向上し、センサーと回路間のクロストークが低減した。本発表では最近の開発進捗について報告する。