2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

7 ビーム応用 » 7.1 X線技術

[20p-B301-1~13] 7.1 X線技術

2018年3月20日(火) 13:15 〜 16:45 B301 (53-301)

豊田 光紀(東北大)、今園 孝志(量研機構)、渡辺 紀生(筑波大)

13:15 〜 13:30

[20p-B301-1] EUV結像系用の曲面多層膜ミラーで生じる色収差とその補正法

〇(M2)金子 明誉1、豊田 光紀1、高田 昌樹1 (1.東北大学多元研)

キーワード：多層膜ミラー、極紫外線、顕微鏡