[20p-B301-1~13] 7.1 X線技術

[20p-B301-5] 平面結像型回折格子分光器によるテンダーＸ線発光分光

〇今園 孝志¹、西原 弘晃²、浮田 龍一²、笹井 浩行²、長野 哲也² (1.量研、2.島津製作所)

キーワード：多層膜回折格子、テンダーＸ線発光分光、CIGS太陽電池

広帯域Ni/C多層膜回折格子を搭載した平面結像型分光器を用いてCIGS薄膜太陽電池からのテンダーX線発光分光計測を試みた。その結果、光吸収層（Cu、In、Ga、Se）に加え、電極（Zn、Mo）から発せられたLα_1,2とLβ₁の同時計測に成功した。InとGaのLα_1,2の半値幅はそれぞれ26.1 eVと4.6 eVであり、幅広いエネルギー帯域のテンダーX線の高分解能分光計測が回折格子分光器でも可能であることを示している。