[20p-B301-1~13] 7.1 X-ray technologies

[20p-B301-7] Development of X-ray non-rectangular phase-gratings by LIGA process and status of hyper-resolution X-ray phase imaging

〇Katsumasa Ikematsu^1,2, Atsushi Momose¹, Juergen Mohr², Pascal Meyer², Talgat Mamyrbayev², Abrar Faisal² (1.IMRAM, Tohoku Univ., 2.Karlsruhe Inst. of Technology)

Keywords:X-ray phase imaging, Talbot interferometer, LIGA process

Talbot干渉計によるＸ線位相イメージングにおいて用いられるＸ線透過格子の開発を、LIGAプロセスで世界を牽引するドイツ・カールスルーエ工科大学(KIT)マイクロストラクチャ技術研究所と共同で推進している。本講演では、位相情報抽出法を工夫することにより高い空間分解能を得る新しい位相イメージング手法の開発状況について、新奇Ｘ線位相格子の作製、およびKITの放射光施設KARA-IMAGEビームラインにおける測定結果を報告する。