[20p-C102-1~10] 6.3 Oxide electronics

[20p-C102-7] Field-effect carrier doping to pseudo-two-dimensional SrTiO₃ ultrathin films

〇Takashi Tojo¹, Kohei Yshimatsu¹, Akira Ohtomo^1,2 (1.Tokyo Tech. Dept. Chem. Sci. Eng., 2.MCES)

Keywords:Strongly correlated electron system, Field effect transistor

SrTiO₃単結晶の表面に蓄積した擬2次元電子ガスは，超伝導や強磁性を示し注目を集めてきた ．我々は，SrTiO₃/LaTiO₃人工超格子薄膜を熱酸化することでLaTiO₃層内に局所的な層状欠陥を導入し，任意の積層周期を持つ層状ペロブスカイト型構造を作製できることを報告した．今回我々は，この手法を用いて極薄膜化したチャネルに電気二重層トランジスタ (EDLT)を適用し，SrTiO₃バルク表面とは異なる電気特性を見出したので報告する．