[20p-C102-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[20p-C102-7] 擬2次元SrTiO₃極薄膜への電界効果キャリアドーピング

〇東條 尚志¹、吉松 公平¹、大友 明^1,2 (1.東工大物質理工学院、2.元素戦略)

キーワード：強相関電子系、電界効果トランジスタ

SrTiO₃単結晶の表面に蓄積した擬2次元電子ガスは，超伝導や強磁性を示し注目を集めてきた ．我々は，SrTiO₃/LaTiO₃人工超格子薄膜を熱酸化することでLaTiO₃層内に局所的な層状欠陥を導入し，任意の積層周期を持つ層状ペロブスカイト型構造を作製できることを報告した．今回我々は，この手法を用いて極薄膜化したチャネルに電気二重層トランジスタ (EDLT)を適用し，SrTiO₃バルク表面とは異なる電気特性を見出したので報告する．