[20p-C202-1~7] 17.3 層状物質

[20p-C202-2] ミストCVD により作製した二硫化モリブデン(MoS₂)薄膜の特性評価

〇(D)佐藤 翔太¹、坂本 雅仁²、新田 紀子^3,4、刘 丽¹、E. K. C. プラディープ⁴、鄧 太 江⁴、川原村 敏幸^1,2,4 (1.高知工大院基盤工学、2.知能機械シス工、3.マテリアル工、4.総研)

キーワード：ミストCVD、MoS2