[20p-C303-1~11] 3.8 光計測技術・機器

[20p-C303-3] 複屈折プロファイラーによる透明フィルムの全面マルチ波長検査技術

〇江本 顕雄¹、小川 拓真¹、福田 隆史² (1.同志社大理工、2.産総研電子光)

キーワード：複屈折、フィルム検査

我々はこれまでに、特殊な偏光依存性を示す回折格子を利用して、2次元の複屈折分布をイメージングする「複屈折プロファイラー」の開発を行ってきた。しかしながら、原反フィルムなどを全面的に検査できるほどの広範囲の測定領域の実現は難しい。そこで、測定領域をライン状にすることで、逐次搬送されていくフィルムを、多波長で同時に検査できることを見出された。