[20p-C303-1~11] 3.8 光計測技術・機器

△ [20p-C303-4] デュアルコム分光による屈折率分布の精密測定法の開発

〇(M1)王 月^1,2、浅原 彰文^1,2、近藤 健一^1,2、美濃島 薫^1,2 (1.電気通信大学、2.JST,ERATO美濃島知的光シンセサイザ)

キーワード：デュアルコム、分光法、屈折率

デュアルコム分光法は、2台の光コムを用いた新しいフーリエ分光法であり、高精度かつ高速に測定できることから注目されている。我々は本手法を固体物性評価に応用し、試料の複素屈折率や厚みを精密に評価するための新規計測手法を確立してきた。本研究では、一点計測であったデュアルコム分光測定を多点化することにより、固体試料の屈折率と厚さ分布を精密かつ同時に評価することが可能な計測システムの実現を目指した。