[20p-C303-1~11] 3.8 光計測技術・機器

△ [20p-C303-6] ピコニュートン力の計測に向けたMEMS 用レーザー変位計の開発

〇(D)紫垣 政信¹、田中 嘉人^1,2、佐藤 隆昭¹、志村 努¹ (1.東大生研、2.JST さきがけ)

キーワード：MEMS、レーザ変位計

ピコニュートンオーダーの力計測は、物理のみならず生体計測等にも広く必要とされている。MEMSの分野では、レーザードップラ振動計を用いた変位測定による微弱力計測が広く用いられてきたが、一般的にサブナノニュートンオーダー程度の力検出感度しか得られなかった。そこで我々は、サブピコニュートンオーダーの力によって生じる変位を計測するため、マイケルソン干渉計を応用したレーザー変位計の開発を進めている。