[20p-C304-1~15] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[20p-C304-14] ALD-Al₂O₃膜の熱輸送特性

〇中島 佑太¹、内田 紀行²、大石 佑治³、町田 龍人¹、藤代 博記¹、服部 淳一²、福田 浩一²、前田 辰郎² (1.東理大院、2.産総研、3.阪大院)

キーワード：半導体、フォノン輸送