2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[20p-E201-1~11] 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2018年3月20日(火) 13:00 〜 16:00 E201 (57-201)

大島 孝仁(佐賀大)、尾沼 猛儀(工学院大)

13:00 〜 13:15

[20p-E201-1] 窒素ドープ酸化ガリウム薄膜における青色発光の強度変化

尾沼 猛儀1,2、中田 義昭2、佐々木 公平3,2、増井 建和3、山口 智広1、本田 徹1、倉又 朗人3、山腰 茂伸3、東脇 正高2 (1.工学院大、2.情通機構、3.タムラ製作所)

キーワード:酸化ガリウム、光物性、窒素ドープ

本講演では、窒素ドープされた酸化ガリウムエピタキシャル薄膜のカソードルミネセンススペクトルを測定した結果を報告する。