[20p-E201-1~11] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[20p-E201-1] 窒素ドープ酸化ガリウム薄膜における青色発光の強度変化

〇尾沼 猛儀^1,2、中田 義昭²、佐々木 公平^3,2、増井 建和³、山口 智広¹、本田 徹¹、倉又 朗人³、山腰 茂伸³、東脇 正高² (1.工学院大、2.情通機構、3.タムラ製作所)

キーワード：酸化ガリウム、光物性、窒素ドープ

本講演では、窒素ドープされた酸化ガリウムエピタキシャル薄膜のカソードルミネセンススペクトルを測定した結果を報告する。