[20p-F104-1~11] 9.1 誘電材料・誘電体

[20p-F104-10] SAWセンサ応用へ向けたゲーレナイト結晶の特性評価

〇秋本 恭平¹、保科 拓也¹、近藤 淳²、松谷 晃宏¹、鶴見 敬章¹、武田 博明¹ (1.東工大、2.静岡大)

キーワード：SAW特性

近年、SAW（弾性表面波）を用いた高温で使用できる無線温度センサや、体液中の特定生体分子の量を検知するバイオセンサが注目されている。ゲーレナイト(Ca₂Al₂SiO₇)は高温での高抵抗率と安定した圧電特性に加え、生体活性も示し、これらのセンサ用圧電材料として期待されるが、そのSAW特性は明らかになっていない。本研究では、ゲーレナイトのSAW特性解析と実測を行い、各種センサ応用への可能性を検討した。