[20p-G203-1~8] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[20p-G203-7] シリカガラス中の格子間Cl₂およびClClO分子の発光およびラマン分光法による検出

Skuja Linards¹、〇梶原 浩一²、Krisjanis Smits¹、Silins Andrejs¹、細野 秀雄³ (1.ラトビア大、2.首都大、3.東工大)

キーワード：シリカガラス、格子間塩素分子、発光

塩素は気相法によって合成されたシリカガラスの主要な不純物であり、一般的な原料であるSiCl₄や、SOCl₂などのSiOH除去用の塩素系脱水剤から取り込まれる。シリカガラス中の塩素の大部分はSiCl基として存在するが、一部はCl₂やHClなどの格子間分子にも変化する。しかし、これらの高感度検出は一般に難しい。本発表では、格子間Cl₂の近赤外発光とこれを利用した高感度検出法の開発、および格子間ClClO分子の発見について報告する。