[20p-P4-1~40] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[20p-P4-1] 直線型マイクロ波プラズマ生成のための導波管内電磁界解析

〇宮 翔真¹、亀山 高範¹、内海 倫明¹、桑畑 周司¹、磯村 雅夫¹、進藤 春雄² (1.東海大工、2.プラズマ理工研)

キーワード：マイクロ波プラズマ、導波管