[20p-P4-1~40] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[20p-P4-11] Ar/O2混合プラズマ処理した酸化Si表面における吸着Cs原子の安定化と光支援熱電子放出の関係

〇安原 弘一郎¹、荻野 明久¹、鈴木 淳平¹ (1.静大院工)

キーワード：マイクロ波プラズマ