[20p-P4-1~40] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[20p-P4-14] 超音速噴流を用いたVHFプラズマによるDLC成膜の一様性

〇大石 亮¹、山本 翔大¹、吉瀬 丈士¹、坂本 英嵩¹、早田 倫太郎¹、牟田 浩司¹ (1.近畿大産業理工)

キーワード：DLC薄膜