2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

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8 プラズマエレクトロニクス » 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

[20p-P4-1~40] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

2018年3月20日(火) 13:30 〜 15:30 P4 (ベルサール高田馬場)

13:30 〜 15:30

[20p-P4-8] 酸化物粉体ターゲットによる機能性薄膜の作製I

川崎 仁晴1、大島 多美子1、柳生 義人1、猪原 武士1、篠原 正典1 (1.佐世保高専)

キーワード:粉体ターゲット、酸化物粉体、低融点材料

粉体ターゲットとして酸化物粉体を利用することにより、低融点材料でも低コストに機能性薄膜を作製できないかを検討した。SnO2とSiO2の酸化物粉体を混合させたターゲットを利用して作製した薄膜の表面をXPSで解析した結果、薄膜表面のSn/Si組成比は、ターゲットのSnO2/ SiO2混合割合の増加とともに増加することが判った。このことは、低融点材料でも多元素機能性薄膜が作製できる事を示唆している。