[20p-P4-1~40] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[20p-P4-8] 酸化物粉体ターゲットによる機能性薄膜の作製I

〇川崎 仁晴¹、大島 多美子¹、柳生 義人¹、猪原 武士¹、篠原 正典¹ (1.佐世保高専)

キーワード：粉体ターゲット、酸化物粉体、低融点材料

粉体ターゲットとして酸化物粉体を利用することにより、低融点材料でも低コストに機能性薄膜を作製できないかを検討した。SnO2とSiO2の酸化物粉体を混合させたターゲットを利用して作製した薄膜の表面をXPSで解析した結果、薄膜表面のSn/Si組成比は、ターゲットのSnO2/ SiO2混合割合の増加とともに増加することが判った。このことは、低融点材料でも多元素機能性薄膜が作製できる事を示唆している。