[20p-P6-1~29] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [20p-P6-17] 10×10 Siマイクロカップ基板でのμ-LED集積化

〇(M1)名和 遼祐¹、相沢 空¹、尾沼 猛儀¹、山口 智広¹、本田 徹¹ (1.工学院大学)

キーワード：μ-LED、ブラックマトリックス、クロストーク

現在、無機LEDを用いたディスプレイが長寿命、高発光効率などといった観点から注目を集めているが微細化やコストなど多くの問題を抱えている。本講演ではクロストーク低減にむけてサンドブラスト法によりエッチングされた Si マイクロカップ基板をブラックマトリックスとして用い、そこへ10×10個のLEDを実装した結果を報告する。実装は非常に綺麗に行われていたがLEDがカップ内で回転しているのが確認された。