[20p-P6-1~29] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20p-P6-24] AlGaN 微細構造の二次元アレイによるブロードバンドUV 発光

〇片岡 研²、千賀 岳人²、船戸 充¹、川上 養一¹ (1.京大院・工、2.ウシオ電機)

キーワード：AlGaN、深紫外光、微細構造