[20p-P6-1~29] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20p-P6-4] 2波長励起フォトルミネッセンス法によるGaNへのイオン注入ダメージ評価の検討

〇増田 海斗¹、関口 寛人¹、三輪 清允¹、岡田 浩¹、山根 啓輔¹、若原 昭浩¹ (1.豊橋技術科学大学)

キーワード：GaN、2波長励起フォトルミネッセンス法