2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[20p-P6-1~29] 15.4 III-V族窒化物結晶

2018年3月20日(火) 13:30 〜 15:30 P6 (ベルサール高田馬場)

13:30 〜 15:30

[20p-P6-7] AlGaN/GaNヘテロ構造上Ti/Al/Ti/Auオーミック電極の高温接触抵抗評価

〇牧繪 哲男1、渡辺 雄太朗1、藤岡 洋2、前田 就彦1 (1.東京工科大、2.東大生研)

キーワード：半導体