14:45 〜 15:00 △ [18p-C309-5] 変調-無変調Ar/CH4/H2誘導熱プラズマの時間直列照射法を用いた多結晶ダイヤモンド膜生成の圧力依存性 〇(M1)畑 和史1、加納 直樹1、中野 裕介1、田中 康規1、上杉 喜彦1、石島 達夫1 (1.金沢大学)