16:00 〜 18:00 [18p-PA4-12] PIG-PECVD法により作製したa-C:H膜の光学特性の基板温度依存性 〇近藤 裕佑1、筧 芳治1、佐藤 和郎1、松村 直巳1、沈 用球2 (1.大阪産業技術研究所、2.大阪府立大学)