09:30 〜 11:30 [19a-PB1-3] c軸配向したYbxAl1-xN圧電薄膜のXRDによる結晶構造解析 〇天野 雄貴1、上原 雅人1,2、Anggraini Sri Ayu2、平田 研二2、山田 浩志1,2、秋山 守人2 (1.九大総理工、2.産総研)