18:30 〜 18:45 [20p-E310-20] GaNに格子整合する組成近傍の四元混晶AlGaInNエピタキシャル膜の成長とその結晶評価(2) 〇原田 紘希1、三好 実人1、江川 孝志1、竹内 哲也2 (1.名工大、2.名城大)