13:15 〜 13:30 [19p-C207-1] 石英基板上での大面積・高品質NbTiN薄膜成膜法 〇川上 彰1、安藤 綜真2、鈴木 康大2、小松 源3、齊藤 敦2、武田 正典3、寺井 弘高1、鵜澤 佳徳4 (1.情通機構、2.山形大学、3.静岡大学、4.国立天文台)