2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[18a-C309-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2019年9月18日(水) 09:00 〜 12:00 C309 (C309)

占部 継一郎(京大)、堤 隆嘉(名大)

09:45 〜 10:00

[18a-C309-4] アセチルアセトンによる遷移金属表面におけるサーマルエッチング反応解析

伊藤 智子1、唐橋 一浩1、浜口 智志1 (1.阪大院工)

キーワード:アトミックレイヤーエッチング、遷移金属