[18a-E317-1~10] 9.1 誘電材料・誘電体

[18a-E317-1] 粒界絶縁型構造を持つCaTiO₃/Ti複合誘電材料の低温作製

〇(M1)伊勢呂 早希¹、上野 慎太郎¹、藤井 一郎¹、大槻 史朗²、古川 正仁²、和田 智志¹ (1.山梨大学、2.TDK(株))

キーワード：誘電体

本研究では、粒界絶縁型(BL)構造を用いて、相対的に絶縁破壊電場の高い常誘電体であるCaTiO₃と金属Tiを複合化し、有効比誘電率及び絶縁破壊電場の向上を試みた。作製にあたり、Tiの酸化を避けるため、低温作製法を採用した。水熱処理によりTi-CaTiO₃ core-shell 粒子を作製後、ペレット状に成形し、水熱処理によってCaTiO₃/Ti複合 BL キャパシタを作製し、誘電特性の調査を行った。その測定結果について発表する。