[18a-PA3-1~10] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[18a-PA3-10] Development of Conical Lens for Small Size SEM Using Neodymium Magnet

〇Shuya Iguchi¹, Ohno Teruaki², Hiroshi Suga¹ (1.CIT, 2.Technex)

Keywords:Scanning Electron Microscope, Electron Lens

近年，小型SEMが普及しつつあるが一般的なSEMに分解能で劣るためさらなる分解能向上が求められている．円錐形状の対物レンズ(以下，コニカルレンズ)は，焦点距離を小さくすることができるため，分解能向上への有効性が知られている．我々は，低収差化することのできる円錐形状レンズを小型で強力な希土類磁石を用いて製作することにより小型低収差な円錐形状電子レンズの分解能を評価した.