[18a-PA5-1~8] 3.15 Silicon photonics

[18a-PA5-1] Raman Silicon Nanocavity Laser fabricated by photo-lithography

〇Takamasa Yasuda¹, Makoto Okano², Minoru Ohtsuka², Miyoshi Seki², Nobuyuki Yokoyama², Yasushi Takahashi¹ (1.Osaka Prefecture Univ., 2.National Institute of Advanced Industrial Science and Technology)

Keywords:silicon raman laser, Photonic Crystal

我々はこれまで，フォトニック結晶を応用したシリコンラマンレーザの開発に取り組んできた．
今回，フォトリソグラフィとCMOS互換プロセスを用いて作製したシリコンラマンレーザにおいて，室温連続発振を確認したので報告する．