[18a-PA5-1~8] 3.15 Silicon photonics

[18a-PA5-8] Design of stacked structure in microcrystalline silicon optical mudulator

〇Yukinobu Nakajima¹, Yuya Shoji¹, Ryohei Takei², Tetsuya Mizumoto¹, Toshihiro Kamei² (1.Tokyo Tech, 2.AIST)

Keywords:silicon photonics, optical modulator

光変調器のオンチップ光配線の実現においてバックエンドプロセスでのLSI上の三次元集積が有効となる。a-Si:Hやポリシリコンを用いた報告例もあるが、a-Si:Hは導電率が低く、ポリシリコンは高温処理を必要とする。そこで本研究グループでは微結晶シリコン(µc-Si:H)を用いた光変調器を提案する。µc-Si:Hは低温堆積でき、a-Si:Hと比べ導電率が高い。またドーピングを堆積時に容易に行える。本研究では光変調器を実現する導波路構造を数値計算により検討した。