9:30 AM - 11:30 AM
[18a-PB1-8] Nanometer-scale Cross-sectional Observation of Electrical trees in Epoxy Resin
Keywords:nanocomposite, dielectric breakdown, electrical-treeing
エポキシ系熱硬化性樹脂等のポリマーにナノシリカを添加したナノコンポジット材料は、電気トリーの発生・進展が抑制されることから、実機絶縁システムへの応用が期待されている。しかし、その微視的メカニズムには未だ不明な点が多く、絶縁材料の新しい評価手法の検討が望まれる。今回我々は、微細加工技術を用いて石英ガラス基板上に電極を形成し、その上にエポキシ樹脂を塗布した構造の評価用デバイスを考案した。