[18p-C310-1~14] 6.6 プローブ顕微鏡

[18p-C310-3] ナノフーリエ赤外分光法を利用した樹脂界面の解析

〇井藤 浩志¹、平本 寛子¹、本田 暁紀¹、石田 康二¹、山崎 紀子²、長谷川 剛一²、高木 清嘉² (1.産業技術総合研究所、2.三菱重工株式会社)

キーワード：走査型プローブ顕微鏡、赤外分光、有機複合材料

SPMを利用した化学状態の識別の試みが多数行われている。今回、ナノスケールのグレーティング作成技術を利用したテスト試料（最小線幅15nmのSiとSiO₂が交互に埋め込まれている）を作成して、Nano-FTIR法、および、近接場顕微鏡を利用した赤外吸収マッピングの分解能について、系統的に調べた。また、樹脂材料の接着界面について、赤外吸収スペクトルを利用したマッピングを試みた結果についても報告する。