[18p-E216-11~17] 10.1 Emerging materials in spintronics and magnetics (including fabrication and charactrization methodologies)

[18p-E216-12] Development of single-crystalline Co₂MnGa full-Heusler alloy thin film on a large size Si wafer

〇Takafumi Nakano^1,4, Shinji Miwa^2,4, Tomoya Higo^2,4, Akio Fukushima^1,4, Shinji Yuasa^1,4, Satoru Nakatsuji^2,3,4, Kay Yakushiji^1,4 (1.AIST, 2.ISSP Univ. of Tokyo, 3.Univ. of Tokyo, 4.JST-CREST)

Keywords:Heusler alloy, Magnetic tunnel junction

近年，巨大な異方性磁気抵抗効果や異常ネルンスト効果を発現するCo₂MnGaフルホイスラー合金が注目を集めている．本研究では，我々のグループが近年開発した単結晶薄膜の作製技術を用いて，大径Siウエハ上へのCo₂MnGaフルホイスラー合金薄膜の成膜開発をおこなった．