[18p-E317-1~11] 9.1 Dielectrics, ferroelectrics

△ [18p-E317-4] Large electromechanical coupling coefficient of YbAlN piezoelectric thin film in the UHF range.

〇(M1)Rui Kihara^1,2, Takahiko Yanagitani^1,2,3 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN, 3.JST-PRESTO)

Keywords:Piezoelectric film, BAW filter, Sputtering

5G以降の無線通信に用いられるBAWフィルタには広帯域で急峻な周波数特性が求められている。帯域幅は電気機械結合係数k_t²が大きいほど広くなるので、近年、大きなk_t²をもつScAlNのスマートフォン用BAWフィルタへの実用化が進んでいる。そのため、新しいAlN系圧電薄膜材料の探索が盛んであり我々のグループもYbAlNの良好な圧電性を確認している。そこで本研究ではYbAlN薄膜のk_t²のYb濃度依存性のより詳しいデータを報告する。