[18p-N302-1~18] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

△ [18p-N302-12] GaNへの高温Mg/Fイオン共注入によるグリーンルミネッセンスの抑制

〇高橋 昌大¹、田中 敦之^2,3、安藤 悠人¹、渡邉 浩崇²、出来 真斗²、久志本 真希¹、新田 州吾²、本田 善央²、Chen Kevin J.^2,4、天野 浩^2,3,5,6 (1.名大院工、2.名大未来材料・システム研究所、3.物質・材料研究機構、4.香港科技大、5.名大赤﨑記念研究センター、6.名大VBL)

キーワード：イオン注入、窒化ガリウム、高温注入