[18p-N304-1~15] 3.7 レーザープロセシング

△ [18p-N304-11] 強く集光したベクトルビームによるレーザー微細加工

〇佐藤 柾¹、小澤 祐市¹、佐藤 俊一¹ (1.東北大多元研)

キーワード：ベクトルビーム、微細加工、フェムト秒レーザー

多重リング状の強度分布をもつ高次横モードの径偏光ビームを強く集光すると，焦点には軸方向電場が強く生じ，微小な集光スポットが形成される．このような特性をレーザー微細加工に応用することで，加工形状の更なる微細化や高精度化につながることが期待される．本講演では，多重リング状の強度分布を有する各種偏光ビームによるシングルショットでのレーザー加工を行い，それらの加工形状を比較検討した結果について報告する．