[18p-N304-1~15] 3.7 Laser processing

[18p-N304-5] Spatio-temporal control of energy deposition during hole drilling by GHz burst mode femtosecond Bessel beam

〇Kotaro Obata¹, Koji Sugioka¹ (1.RIKEN RAP)

Keywords:GHz burst mode, Bessel beam, Laser processing

１パルスのレーザー光を極短時間で、ひと続きの連続したパルス列として時空間制御を行うバーストモードは、同じ平均出力、繰り返し周波数を持つレーザー光での加工に対してアブレーションレートの向上、アブレーション閾値の低下などが可能である。本研究では、このGHzバーストモードのパルス列と、アキシコンレンズを用いたベッセルビームを組み合わせ、穴あけ加工時におけるレーザーエネルギー付与の時空間制御依存性を検討した。