[18p-PA4-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-PA4-12] PIG-PECVD法により作製したa-C:H膜の光学特性の基板温度依存性

〇近藤 裕佑¹、筧 芳治¹、佐藤 和郎¹、松村 直巳¹、沈 用球² (1.大阪産業技術研究所、2.大阪府立大学)

キーワード：プラズマ支援気相成長、水素化アモルファスカーボン、分光エリプソメトリー