[18p-PA4-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-PA4-17] 荷電変換用カーボンフォイル蒸着のための真空放電開始機構の開発

〇(M2)伊藤 伸一郎¹、金正 倫計²、吉本 政弘²、和田 元¹ (1.同志社理工、2.日本原研)

キーワード：荷電変換フォイル、アーク蒸着、J-PARC

ハイブリッド型ホウ素混合炭素(HBC)薄膜は高エネルギー陽子ビームの照射に高い耐性を持っており，本研究の目的はその高耐久性の原因を明らかにすることである．実際のフォイルは低圧真空アーク蒸着で生成されているが，本研究では安定してアーク蒸着を行うため水素ガスを導入してフォイルを形成している．より低電圧での放電を試みるために，放電電極を真空中で調節できるよう装置改造を行い．フォイルの結晶構造などを調査する．