[18p-PA4-1~25] 6.2 Carbon-based thin films

[18p-PA4-17] Development of a vacuum discharge system for deposition of a charge exchange foil

〇(M2)Shinichiro Ito¹, Michikazu Kinsho², Masahiro Yoshimoto², Motoi Wada¹ (1.Doshisha Univ., 2.JAEA.)

Keywords:carbon charge exchange foil, arc deposition, J-PARC

ハイブリッド型ホウ素混合炭素(HBC)薄膜は高エネルギー陽子ビームの照射に高い耐性を持っており，本研究の目的はその高耐久性の原因を明らかにすることである．実際のフォイルは低圧真空アーク蒸着で生成されているが，本研究では安定してアーク蒸着を行うため水素ガスを導入してフォイルを形成している．より低電圧での放電を試みるために，放電電極を真空中で調節できるよう装置改造を行い．フォイルの結晶構造などを調査する．