[18p-PA4-1~25] 6.2 Carbon-based thin films

[18p-PA4-21] Study of quasi normally-off operation of diamond FeFET by using partially O-terminated channel structure

〇(M1)Tatsuya Tamamura¹, Tatsuki Yamada¹, Kazuki Takahashi³, Tsubasa Matsumoto², Takashi Nakazima³, Norio Tokuda², Takeshi Kawae¹ (1.Kanazawa Univ., 2.NanoMaRi. Kanazawa Univ., 3.Tokyo Univ. of Sci.)

Keywords:Diamond

我々は、強誘電体VDF-TrFEをゲートとしたダイヤモンドFeFETを提案、開発に取り組んでおり、基本動作や室温における高効率なキャリア誘起を実証してきた。一方、疑似ノーマリオフ動作は、チャネルのキャリア密度に対するVDF-TrFEの残留分極値が低い事から、その実現には至っていない。今回、H終端ダイヤモンドチャネルの一部を部分O終端化する事で局所的にキャリア密度を低減させた構造を用い、疑似ノーマリオフ動作化に関する検証を行った。